97 450mm晶圓片的價格
對于拉晶爐,首先……要對副室進行充氣,這里沖的是氬氣,氬氣是惰性氣體,很難參加反應(yīng)。
拍出副室里邊的空氣,然后對于其他的地方清理干凈,比如副室爐筒、小副室、爐筒等等。
工人穿戴好防護服把坩堝裝入石墨鍋里邊,進行裝料,也就是多晶硅,進行封閉之后,進行抽空作業(yè),隨后沖氬氣,這樣反復(fù)幾次,帶走爐內(nèi)的其他氣體以及濕度。
緩慢加熱,使得多晶硅均勻受熱,使得多晶硅完全融化掉之...
對于拉晶爐,首先……要對副室進行充氣,這里沖的是氬氣,氬氣是惰性氣體,很難參加反應(yīng)。
拍出副室里邊的空氣,然后對于其他的地方清理干凈,比如副室爐筒、小副室、爐筒等等。
工人穿戴好防護服把坩堝裝入石墨鍋里邊,進行裝料,也就是多晶硅,進行封閉之后,進行抽空作業(yè),隨后沖氬氣,這樣反復(fù)幾次,帶走爐內(nèi)的其他氣體以及濕度。
緩慢加熱,使得多晶硅均勻受熱,使得多晶硅完全融化掉之...