第八十九章 第二代光刻機誕生
趙燁給這臺光刻機設(shè)計的光刻機運動系統(tǒng),是利用了杠桿原理來實現(xiàn)的。
畢竟現(xiàn)在這臺機器還是幾乎是純手動,趙燁利用精密的絲桿,再帶精密齒輪組,把底座的運動距離,放大了很多倍,這樣才能實現(xiàn)光刻機外面設(shè)置的手輪,轉(zhuǎn)動一圈,底座按照設(shè)計位移兩微米。這幾乎是這個時代的極限了。
這樣的手輪在光刻機的操作臺上有七個,分別控制底座不同的運動路徑。等到這套系統(tǒng)被安裝完畢后,幾個專家立即就進行測...